未来手机触摸屏要靠无掩模光刻技术

作者： TouchScreen 时间：2012-02-29 源于：中山商报总点击：

【导读】：电子数码产品越做越小、越薄、越高清,小小的电路板要承载的线路层数将越来越多,芯片从单核升级为双核、多核,密度更高,这些传统的工艺无法满足,而通过更为精密的“金刚钻”,才能揽“瓷器活”,而无掩模光刻技术就是这“金刚钻”,除了印刷电路板,智能手机的触摸屏的生产,未来也

一家2009 年才进驻中山的企业，却吸引了中银粤财股权投资基金管理(广东)有限公司、松德股份、张家边企业集团等竞相投资，后面还有中科招商等风投资金想要投资进来。这家企业还获得了火炬开发区、经信局、科技局共4000 万元的项目扶持资金，仅去年就获得了省市两级的扶持资金2200万元。这家叫“新诺科技”的企业，是中山战略性新兴产业高科技科研产业化项目的新军，受资本市场追捧的新星。

光刻界未来的“数码相机”

在新诺科技的实验室，项目带头人梅文辉博士正同时操作4台电脑，连着电脑的是一块电路板及图像发生器。“我们正在开发新一代的高速图像发生器。”他说，这是公司研发生产的激光动态无掩模光刻设备的硬件之一。

他打比方说，百年柯达，曾一度创造了胶卷时代的巅峰，却在数码大潮的裹挟下轰然倒下，原因是数字相机取代了胶片；而在电子元器件行业，印刷电路板时，掩模仍然是重要载体，这就好比需要胶卷的柯达相机；而未来数字化的无掩模光刻设备，将如数码相机取代传统的柯达相机一样，通过激光直写替代掩模，发展前景可观。

“无掩模光刻技术已经广泛应用在目前的苹果电脑、手机等数码产品上。”他说。电子数码产品越做越小、越薄、越高清，小小的电路板要承载的线路层数将越来越多；芯片从单核升级为双核、多核，密度更高，这些传统的工艺无法满足，而通过更为精密的“金刚钻”，才能揽“瓷器活”，而无掩模光刻技术就是这“金刚钻”。除了印刷电路板，智能手机的触摸屏的生产，未来也要靠该技术完成。

单印刷电路板和触摸屏这两项，就让梅文辉觉得研发出来的设备有大展拳脚之地。近几年来，大面积无掩模光刻机正受到越来越多的重视，促进平板显示行业和大规模集成电路制造行业的迅速发展。但国内的无掩模光刻设备都是从日本、美国进口，设备非常昂贵，作为实现无掩模光刻技术的首位发明者，梅文辉和他的团队想把无掩模光刻设备国产化，用更优惠的价格开拓国内市场。

五年后产值超过15亿元

去年，新诺科技交付了一台700mmx800mmALDI系列光刻机给深圳美精微光电科技公司，仅生产了一台样机，就吸引众多资金追捧，甚至新诺科技还拥有对投资方的选择权。“我们的团队成员很多是国外知名的大学博士。”公司总经理曲鲁杰说。项目带头人梅文辉博士，曾在美国球形半导体公司领导研发团队开发球形半导体器件，器件发明专利技术100多项，其中30多项是无掩模光刻技术的专利，已经生产出的20多台无掩模光刻设备也在全世界运行。目前日本许多知名公司都要购买他的专利才能生产设备。团队的其他成员也是光学和无掩模光刻技术领域的博士专家。

按曲鲁杰的说法，今年新诺科技搬进火炬开发区新厂后，预计可生产20台设备，产值1亿元。而按工厂的产能设计，5年后年产要达300台左右，产值在15-20亿元左右。“我们的第一台PCB样机将在今年6月份下线。”曲鲁杰说。一台国外进口的PCB价格约100万美金，但“我们大概是他们价格的一半左右。”

梅文辉觉得时间很紧，除了同时开动4部电脑，甚至做实验时把中午饭时间也省略了。“样机要赶快做，现在我们有些客户比较急迫，他们大都是现有的设备满足不了才找我们。”

天时地利都有了

“我们赶在国内从低端产业向高端产业升级的过程中回来，时间刚刚好。”梅文辉说。目前从国家到地方，都在鼓励战略性新兴产业的发展，而他们抓住了这样的时间节点。作为信息产业的关键部分，大面积高速激光动态无掩模光刻机项目和新一代激光无掩模光刻设备，已成为世界各国争取主导权和制高点的战略性产业，是国家“十二五”计划发展的重点项目之一，也是国家半导体装备专项支持的项目。中山市帮他们争取了1亿元的资金扶持，其中4000亿元是市里相关部门和开发区的项目扶持资金，而6000万元将由张家边企业集团作为股权投资进入。随后，松德包装和粤财基金又各投资了1500万元。他们顺利在开发区建了厂房，4月份就可搬进去，产业化将很快可以实现。

地利，则是回到了目前世界公认经济最活跃的亚太地区，他们带着国外的技术回到国内发展，并选择了中国电子产品制造最为集中的两大区域之一珠三角，选择了珠三角的中部区域中山。“我们看好这里的发展前景，仅珠三角就有2000多家电子厂，他们的设备要更新换代，我们可提供设备。”曲鲁杰说。