英国光电子技术公司Plessey采购晶圆键合系统扩大MicroLED的制造
作者:51Touch时间:2018-11-19 来源:OFweek
[摘要]英国光电子技术解决方案的领先开发商Plessey Semiconductor日前表示,已从晶圆键合和光刻设备生产商EVG购买了GEMINI晶圆键合系统。
北京时间11月19日消息,中国触摸屏网讯,Plessey采购晶圆键合系统 加大MicroLED的生产。英国光电子技术解决方案的领先开发商Plessey Semiconductor日前表示,已从晶圆键合和光刻设备生产商EVG购买了GEMINI晶圆键合系统。
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该公司计划使用该系统扩大其GaN-on-Si MicroLED的制造。Plessey表示,GEMINI生产晶圆键合系统将在Plessey位于英国普利茅斯的制造工厂展开粘合和校准的工作。与此同时,该系统还可将其GaN-on-Si MicroLED阵列与晶圆级背板紧密结合,具有极小像素尺寸所需的高对准精度。
EVG表示,其获得专利的SmartView ® NT自动键合对准系统技术可实现晶圆的正面对准,具有极高的精度。
此外,其GEMINI自动化生产晶圆键合系统实现了最高水平的自动化和流程集成。该全自动平台可实现晶圆到晶圆对准以及提供高达300mm的晶圆键合工艺,适用于批量生产。
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