北京时间01月20日消息,中国触摸屏网讯,蓝色LED和蓝紫色半导体激光器用基板有望采用铝镁酸钪(ScAlMgO4,通称:SCAM)。SCAM的特点是,与GaN的晶格失配度只有1.8%,便于抑制位错等结晶缺陷。与采用蓝宝石基板相比,易于提高蓝色LED的电流密度。
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以前的SCAM结晶不是单晶,而是多晶,且尺寸只有小拇指大小,现在福田结晶技术研究所成功开发出了口径为2英寸的高品质SCAM单晶(图A-1)。采用的是“旋转拉升法(CZ法)”。
SCAM可通过裂解加工法从硅锭制作晶圆,因此有望实现低成本化。该研究所对试制的SCAM结晶进行裂解加工,利用X射线衍射法评估了其C面,结果发现其半宽度为12.9秒,结晶品质跟Si的完全结晶相当。
福田结晶技术研究所预定2015年春销售2英寸的SCAM基板。还将开发4~6英寸的基板。
此外,该研究所还打算在SCAM结晶上形成低位错的厚GaN结晶,将这种GaN结晶作为形成电子元器件的“GaN独立基板”。设想主要用于GaN功率元件的制造。