北京时间05月12日消息,中国触摸屏网讯, 智慧型手机与平板装置(平板电脑)的蓬勃发展,让低温多晶矽(LTPS制)制程技术与触控面板炙手可热,并成为面板大厂争相布局,扩产的焦点,从而推升相关制造设备需求,预估2011年低温和触控设备商可服务市场(SAM)的的规模将达到4亿美元,较2010年大幅增长两倍之多,为设备供应商2011年的发展注入一股强劲的成长动能。
应用材料(Applied Materials公司)集团副总裁暨显示器事业群总经理汤姆埃德曼表示,行动装置将是继笔记型电脑,桌上型显示器与大尺寸平面电视后,第四波显示器市场成长的主要驱动力,并将带动庞大的资本设备需求,其中,可让有机发光二极体(OLED)的与液晶面板实现更高效能和更高解析度的低温多晶矽背板技术,以及可携式装置正大量导入的多点触控面板,由于需要更多制程设备支出,将是该公司今年抢攻的重点,预估2011年行动显示相关的设备营收比重将占整体显示器事业营收的三成以上。
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相较于现今非晶矽(的a - Si)技术,低温多晶矽背板由于具有较快的反应速度,可达到更高的解析度,是现今行动显示器追求更高显示效能不可或缺的重要技术,但低温多晶硅的制程远较非晶矽复杂许多,所需的制程设备数量也比非晶矽增加两倍;至于多点触控面板更是行动装置显示器的发展主流,而触控面板至少四至五层的薄膜沉积步骤,亦让物理气相沉积法(PVD)与化学气相沉积法(CVD)等设备重要性显著提升。
埃德曼指出,触控面板如今已是百家争鸣,尤其是电容式触控技术,由于可实现多点触控功能,更是兵家必争之地,不论是传统彩色滤光片或面板制造商,或仅锁定触控面板发展的新进业者,都已大举扩增相关产能。预估未来几年,触控面板市场将持续强劲成长,并激励制造设备需求不断攀升。
为满足触控面板业者提升产量的需求,应用材料日前也推出一款具备平行处理能力的物理气相沉积制造设备的AKT雅集双床,可于单一系统上同时以两条独立轨道进行沉积作业,以提升整体生产效率并降低制造成本。目前,已获得中国大陆和台湾的主要触控面板制造商采用。
AKT的雅集双系统是基于AKT的雅集的PVD平台所开发而成,该平台至今全球出货已达一百七十五套,可处理各种尺寸大小的基板。而AKT的雅集双平行架构的系统则提供最小巧的触控面板解决方案,不仅能将无尘室使用空间降到最低,更可减少多套系统的需求。同时,该系统还运用先进的旋转靶技术来提高良率,并将有效单位基板成本降到最低。
此外,应用材料新推出的的AKT - 20K的PX的电浆强化化学气相沉积系统(PECVD)系统,则采用关键的低温技术,将高度均匀的薄膜沉积于较先前标准尺寸超出三倍的1.95平方公尺玻璃片上,让制造商得以大幅增加产量并降低成本,加速开发具有更大,更高解析度萤幕的消费性行动显示面板。