ʯīϩµÄÖƱ¸,ÌØÕ÷,ÐÔÄܼ°Ó¦ÓõÄÑо¿1

×÷Õߣº Multitouch     Ê±¼ä£º2013-05-21     Ô´ÓÚ£ºÖйú´¥ÃþÆÁÍø    ×ܵã»÷£º
¡¾µ¼¶Á¡¿£º ̼ÊÇ×îÖØÒªµÄÔªËØÖ®Ò»£¬ËüÓÐ×ŶÀÌصÄÐÔÖÊ£¬ÊÇËùÓеØÇòÉúÃüµÄ»ù´¡¡£´¿Ì¼ÄÜÒÔ½ØÈ»²»Í¬µÄÐÎʽ´æÔÚ£¬¿ÉÒÔÊǼáÓ²µÄ×êʯ£¬Ò²¿ÉÒÔÊÇÈáÈíµÄʯī¡£Ì¼²ÄÁÏÊÇÒ»ÖÖµØÇòÉϽÏÆÕ±é¶øÌØÊâµÄ²ÄÁÏ, Ëü¿ÉÒÔÐγÉÓ²¶È½Ï´óµÄ½ð¸Õʯ, Ò²¿ÉÒÔÐγɽÏÈíµÄʯī.

       ̼ÊÇ×îÖØÒªµÄÔªËØÖ®Ò»£¬ËüÓÐ×ŶÀÌصÄÐÔÖÊ£¬ÊÇËùÓеØÇòÉúÃüµÄ»ù´¡¡£´¿Ì¼ÄÜÒÔ½ØÈ»²»Í¬µÄÐÎʽ´æÔÚ£¬¿ÉÒÔÊǼáÓ²µÄ×êʯ£¬Ò²¿ÉÒÔÊÇÈáÈíµÄʯī¡£Ì¼²ÄÁÏÊÇÒ»ÖÖµØÇòÉϽÏÆÕ±é¶øÌØÊâµÄ²ÄÁÏ, Ëü¿ÉÒÔÐγÉÓ²¶È½Ï´óµÄ½ð¸Õʯ, Ò²¿ÉÒÔÐγɽÏÈíµÄʯī. ½ü20 ÄêÀ´, ̼ÄÉÃײÄÁÏÒ»Ö±ÊǿƼ¼´´ÐµÄÇ°ÑØÁìÓò, 1985 Äê·¢Ïֵĸ»ÀÕÏ©[1]ºÍ1991 Äê·¢ÏÖµÄ̼ÄÉÃ×¹Ü(CNTs)[2]¾ùÒýÆðÁ˾޴óµÄ·´Ïì, ÐËÆðÁËÑо¿Èȳ±. 2004 Äê, Manchester ´óѧµÄGeim С×é[3]Ê×´ÎÓûúе°þÀë·¨»ñµÃÁ˵¥²ã»ò±¡²ãµÄÐÂÐͶþάԭ×Ó¾§Ìå—— ʯīϩ. ʯīϩµÄ·¢ÏÖ, ³äʵÁË̼²ÄÁϼÒ×å,ÐγÉÁË´ÓÁãάµÄ¸»ÀÕÏ©¡¢Ò»Î¬µÄCNTs¡¢¶þάµÄʯīϩµ½ÈýάµÄ½ð¸ÕʯºÍʯīµÄÍêÕûÌåϵ. ʯīϩÊÇÓÉ̼ԭ×ÓÒÔsp2 ÔÓ»¯Á¬½ÓµÄµ¥Ô­×Ӳ㹹³ÉµÄ, Æä»ù±¾½á¹¹µ¥ÔªÎªÓлú²ÄÁÏÖÐ×îÎȶ¨µÄ±½ÁùÔª»·, ÆäÀíÂÛºñ¶È½öΪ0.35 nm, ÊÇÄ¿Ç°Ëù·¢ÏÖµÄ×µÄ¶þά²ÄÁÏ[3]. ʯīϩÊǹ¹³ÉÆäËüʯī²ÄÁϵĻù±¾µ¥Ôª, ¿ÉÒÔÇÌÇú±ä³ÉÁãάµÄ¸»ÀÕÏ©, ¾íÇúÐγÉһάµÄCNTs[4-5]»òÕ߶Ѷâ³ÉÈýάµÄʯī(ͼ1). ÕâÖÖÌØÊâ½á¹¹Ô̺¬Á˷ḻ¶øÆæÌصÄÎïÀíÏÖÏó, ʹʯīϩ±íÏÖ³öÐí¶àÓÅÒìµÄÎïÀí»¯Ñ§ÐÔÖÊ, ÈçʯīϩµÄÇ¿¶ÈÊÇÒѲâÊÔ²ÄÁÏÖÐ×î¸ßµÄ, ´ï130 GPa[6], ÊǸֵÄ100 ¶à±¶; ÆäÔØÁ÷×ÓǨÒÆÂÊ´ï1.5×104 cm2•V-1•s-1 [7], ÊÇÄ¿Ç°ÒÑÖªµÄ¾ßÓÐ×î¸ßǨÒÆÂʵÄÌ໯î÷²ÄÁϵÄ2 ±¶, ³¬¹ýÉÌÓùèƬǨÒÆÂʵÄ10 ±¶, ÔÚÌض¨Ìõ¼þÏÂ(ÈçµÍÎÂÖèÀäµÈ), ÆäǨÒÆÂÊÉõÖÁ¿É¸ß´ï2.5×105 ʯīϩµÄÈȵ¼ÂÊ¿É´ï5×103W•m-1•K-1, Êǽð¸ÕʯµÄ3 ±¶[. ÁíÍâ, ʯīϩ»¹¾ßÓÐÊÒÎÂÁ¿×Ó»ô¶ûЧӦ(Hall effect)[10]¼°ÊÒÎÂÌú´ÅÐÔ[11]µÈÌØÊâÐÔÖÊ. ʯīϩµÄÕâЩÓÅÒìÐÔÒýÆð¿Æ¼¼½çÐÂÒ»Âֵē̼”Ñо¿Èȳ±, ÒÑÓÐһЩ×ÛÊöÐÔÎÄÕ´Ӳ»Í¬·½Ãæ¶ÔʯīϩµÄÐÔÖʽøÐÐÁ˱¨µÀ.,±¾ÎĽö¸ù¾ÝÏÖÓеÄÎÄÏ×±¨µÀ¶ÔʯīϩµÄÖƱ¸·½·¨¡¢¹¦ÄÜ»¯ÒÔ¼°ÔÚ»¯Ñ§ÁìÓòÖеÄÓ¦ÓÃ×÷Ò»×ÛÊö                                  

     


 

                 


 

                    

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2004Ä꣬Ӣ¹úÂü³¹Ë¹ÌØ´óѧµÄ°²µÂÁÒ•K•º£Ä·(Andre K. Geim)µÈÖƱ¸³öÁËʯīϩ¡£º£Ä·ºÍËûµÄͬÊÂżȻÖз¢ÏÖÁËÒ»ÖÖ¼òµ¥Ò×ÐеÄÐÂ;¾¶¡£ËûÃÇÇ¿Ðн«Ê¯Ä«·ÖÀë³É½ÏСµÄËéƬ£¬´ÓËéƬÖаþÀë³ö½Ï±¡µÄʯī±¡Æ¬£¬È»ºóÓÃÒ»ÖÖÌØÊâµÄËÜÁϽº´øճס±¡Æ¬µÄÁ½²à£¬Ëº¿ª½º´ø£¬±¡Æ¬Ò²ËæÖ®Ò»·ÖΪ¶þ¡£²»¶ÏÖظ´ÕâÒ»¹ý³Ì£¬¾Í¿ÉÒԵõ½Ô½À´Ô½±¡µÄʯī±¡Æ¬£¬¶øÆäÖв¿·ÖÑùÆ·½öÓÉÒ»²ã̼ԭ×Ó¹¹³É——ËûÃÇÖƵÃÁËʯīϩ¡£
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       ʯīϩ½á¹¹·Ç³£Îȶ¨£¬Æù½ñΪֹ£¬Ñо¿ÕßÈÔδ·¢ÏÖʯīϩÖÐÓÐ̼ԭ×ÓȱʧµÄÇé¿ö¡£Ê¯Ä«Ï©Öи÷̼ԭ×ÓÖ®¼äµÄÁ¬½Ó·Ç³£ÈáÈÍ£¬µ±Ê©¼ÓÍⲿ»úеÁ¦Ê±£¬Ì¼Ô­×ÓÃæ¾ÍÍäÇú±äÐΣ¬´Ó¶øʹ̼ԭ×Ó²»±ØÖØÐÂÅÅÁÐÀ´ÊÊÓ¦ÍâÁ¦£¬Ò²¾Í±£³ÖÁ˽ṹÎȶ¨¡£
¡¡¡¡ÕâÖÖÎȶ¨µÄ¾§¸ñ½á¹¹Ê¹Ì¼Ô­×Ó¾ßÓÐÓÅÐãµÄµ¼µçÐÔ¡£Ê¯Ä«Ï©Öеĵç×ÓÔÚ¹ìµÀÖÐÒƶ¯Ê±£¬²»»áÒò¾§¸ñȱÏÝ»òÒýÈëÍâÀ´Ô­×Ó¶ø·¢ÉúÉ¢Éä¡£ÓÉÓÚÔ­×Ó¼ä×÷ÓÃÁ¦Ê®·ÖÇ¿£¬ÔÚ³£ÎÂÏ£¬¼´Ê¹ÖÜΧ̼ԭ×Ó·¢Éú¼·×²£¬Ê¯Ä«Ï©Öеç×ÓÊܵ½µÄ¸ÉÈÅÒ²·Ç³£Ð¡¡£
ʯīϩ×î´óµÄÌØÐÔÊÇÆäÖеç×ÓµÄÔ˶¯ËٶȴﵽÁ˹âËÙµÄ1/300£¬Ô¶Ô¶³¬¹ýÁ˵ç×ÓÔÚÒ»°ãµ¼ÌåÖеÄÔ˶¯Ëٶȡ£ÕâʹµÃʯīϩÖеĵç×Ó£¬»ò¸ü׼ȷµØ£¬Ó¦³ÆΪ“ÔغÉ×Ó”(electric charge carrier)£¬µÄÐÔÖʺÍÏà¶ÔÂÛÐÔµÄÖÐ΢×ӷdz£ÏàËÆ¡£ 


 

                  
       Ñо¿½øÕ¹
       ¹ØÓÚʯīϩµÄÑо¿×îÔçʼÓÚ20 ÊÀ¼Í70 Äê´ú,Clar µÈ[ 2, 3] ÀûÓû¯Ñ§·½·¨ºÏ³ÉһϵÁоßÓдó¹²éîÌåϵµÄ»¯ºÏÎï, ¼´Ê¯Ä«Ï©Æ¬¡£´Ëºó, Schmidt µÈ[ 4, 5] ¿Æѧ¼Ò¶ÔÆä·½·¨½øÐиĽø, ºÏ³ÉÁËÐí¶àº¬²»Í¬±ßÔµÐÞÊλùÍŵÄʯīϩÑÜÉúÎï, µ«ÕâÖÖ·½·¨²»Äܵõ½½Ï´óƽÃæ½á¹¹µÄʯīϩ2004 Äê, Geim µÈ[ 1] ÒÔʯīΪԭÁÏ, ͨ¹ý΢»úеÁ¦°þÀë·¨µÃµ½Ò»ÏµÁнÐ×÷¶þάԭ×Ó¾§Ìå( two2dimensional atomic crystals) µÄвÄÁÏ) ) )/ ʯīϩ( graphene )0¡£/ ʯīϩ0ÓÖÃû/ µ¥²ãʯīƬ0, ÊÇÖ¸Ò»²ãÃܼ¯µÄ¡¢°ü¹üÔÚ·ä³²¾§ÌåµãÕóÉϵÄ̼ԭ×Ó, ̼ԭ×ÓÅÅÁгɶþά½á¹¹, ÓëʯīµÄµ¥Ô­×Ó²ãÀàËÆ( ͼ1) ¡£GeimµÈ[ 6]ÀûÓÃÄÉÃ׳ߴçµÄ½ðÖÆ/ Ó¥¼Ü0, ÖÆÔì³öÐü¹ÒÓÚÆäÉϵÄ
       µ¥²ãʯīϩ±¡Ä¤, ·¢ÏÖÐü¹ÒµÄʯīϩ±¡Ä¤²¢·Ç/ ¶þά±âƽ½á¹¹0, ¶øÊǾßÓÐ/ ΢²¨×´µÄµ¥²ã½á¹¹0, ²¢½«Ê¯Ä«Ï©µ¥²ã½á¹¹µÄÎȶ¨ÐÔ¹é½áÓÚÆäÔÚ/ ÄÉÃ׳߶ÈÉϵÄ΢¹ÛŤÇú0¡£

       ʯīϩµÄÀíÂ۱ȱíÃæ»ý¸ß´ï2 600m2Pg[ 7] , ¾ßÓÐÍ»³öµÄµ¼ÈÈÐÔÄÜ( 3 000W#m- 1#K- 1 ) ºÍÁ¦Ñ§ÐÔÄÜ( 1 060GPa) [ 8] , ÒÔ¼°ÊÒÎÂϽϸߵĵç×ÓǨÒÆÂÊ( 15 000cm2#V- 1#s- 1 ) [ 9] ¡£´ËÍâ, ËüµÄÌØÊâ½á¹¹, ʹÆä¾ßÓаëÕûÊýµÄÁ¿×Ó»ô¶ûЧӦ¡¢ÓÀ²»ÏûʧµÄµçµ¼ÂʵÈһϵÁÐÐÔÖÊ , Òò¶ø±¸ÊܹØ×¢¡£

       ʯīϩµÄ±íÕ÷
       µ¥²ãʯīϩËäÈ»ÒѾ­³É¹¦ÖƵÃ, µ«Ä¿Ç°Æä±íÕ÷Êֶλ¹Ê®·ÖÓÐÏÞ, ³ÉΪÖÆԼʯīϩÑо¿µÄÆ¿¾±Ö®Ò»¡£ÓÉÓÚµ¥²ãʯīϩÀíÂÛºñ¶ÈÖ»ÓÐ0. 335nm, ÔÚɨÃèµç¾µÖкÜÄѹ۲쵽¡£Ô­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÊÇÈ·¶¨Ê¯Ä«Ï©½á¹¹µÄ×îÖ±½Ó°ì·¨¡£Ô­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µ¿ÉÒÔ±íÕ÷µ¥²ãʯīϩ, µ«Ò²´æÔÚȱµã: ÇÒÔÚ±íÕ÷¹ý³ÌÖÐÈÝÒ×Ëð»µÑùÆ·; ´ËÍâ, ÓÉÓÚC ¼üÖ®¼äµÄÏ໥×÷ÓÃ, ±íÕ÷Îó²î´ï0. 5nmÉõÖÁ¸ü´ó, ÕâÔ¶´óÓÚµ¥²ãʯīϩµÄºñ¶È, ʹµÃ±íÕ÷¾«¶È´ó´ó½µµÍ[18] ¡£ÔÚRaman ¹âÆ×ÖÐ, ʯīϩÔÚ1580cm ´¦µÄÎüÊÕ·åÇ¿¶È½ÏµÍ, ¶øÔÚ2700cm ´¦µÄÎüÊÕ·åÇ¿¶È½Ï¸ß, ²¢ÇÒ²»Í¬²ãÊýµÄʯīϩÔÚ2700cm ´¦µÄÎüÊÕ·åλÖÃÂÔÓÐÒƶ¯¡£Õâ¿ÉÄÜÊÇÓÉÓÚʯīϩµÄµç×ӽṹ·¢Éú±ä»¯, ´Ó¶øÒýÆðË«¹²ÕñЧӦµÄ±ä»¯[19] ¡£Ra􀀂man ¹âÆ×µÄÐÎ×´¡¢¿í¶ÈºÍλÖÃÓëʯīϩµÄ²ãÊýÓйØ, ÕâΪ²âÁ¿
ʯīϩ²ãÊýÌṩÁËÒ»¸ö¸ßЧÂÊ¡¢ÎÞÆÆ»µµÄ±íÕ÷ÊֶΡ£µ«ÊÇ, ʯīϩÀ­Âü¹âÆ×ÐźÅÈõ¡¢ÄÑÒÔ¶ÔÆ侫ϸ½á¹¹½øÐбíÕ÷¡£¹âѧÏÔ΢¾µµÄÀûÓÃΪʯīϩµÄ±íÕ÷ÌṩÁËÒ»¸ö¿ìËÙ¼ò±ãµÄÊÖ¶Î, ʹʯīϩµÃµ½½øÒ»²½¾«È·±íÕ÷³ÉΪ¿ÉÄÜ¡£ChengµÈ[20] ÔÚ·´ÉäÂʼÆËãµÄ»ù´¡ÉÏ, ÒýÈëÉ«¶Èѧ¿Õ¼ä¸ÅÄî, Ìá³öÁË¿ìËÙ¡¢×¼È·¡¢ÎÞËð±íÕ÷ʯīϩ²ãÊýµÄ×ÜÉ«²î·½·¨¡£½âÊÍÁËÖ»ÓÐÔÚÌض¨»ùµ×( Si )µ×ÉÏÍ¿72nm ºñAl2O3 Ĥ) ÉÏʯīϩ¿É¼ûµÄÔ­Òò, Ìá³ö²¢ÊµÑé֤ʵÁ˸üÀûÓÚʯīϩ¹âѧ±íÕ÷µÄ»ùµ×ºÍ¹âÔ´,Ìá¸ßÁ˹âѧ±íÕ÷µÄ¾«¶È, Ϊʯīϩ²ãÊýµÄ¿ìËÙ׼ȷ±íÕ÷¡¢¿ØÖÆÖƱ¸¼°ÎïÐÔÑо¿µì¶¨ÁË»ù´¡¡£

       ʯīϩµÄÖƱ¸·½·¨
ʯīϩµÄÖƱ¸´óÌå¿É·ÖΪÎïÀí·½·¨ºÍ»¯Ñ§·½·¨¡£ÆäÖÐ, »¯Ñ§·½·¨Ñо¿µÃ½ÏÔç, Ö÷ÒªÊÇÒÔ±½»·»òÆäËû·¼ÏãÌåϵΪºË, ͨ¹ýżÁª·´Ó¦Ê¹±½»·ÉÏ6 ¸ö̼¾ù±»È¡´ú, È»ºóÏàÁÚÈ¡´ú»ùÖ®¼äÍÑÇâÐγÉеķ¼Ïã»·,Èç´Ë½øÐжಽ·´Ó¦Ê¹·¼ÏãÌåϵ±ä´ó, µ«¸Ã·½·¨²»ÄܺϳɾßÓнϴóƽÃæ½á¹¹µÄʯīϩ; ÎïÀí·½·¨Ö÷ÒªÒÔʯīΪԭÁÏÀ´ºÏ³É, ²»½öÔ­ÁϱãÒËÒ×µÃ, ¶øÇҿɵõ½½Ï´óƽÃæ½á¹¹µÄʯīϩ, Òò¶øÄ¿Ç°¹ØÓÚ´Ë·½ÃæµÄÑо¿±È½Ï¶à, ¹úÄÚÒ²ÓÐÏà¹Ø×ÛÊö[ 14, 15] ¡£3. 1 »¯Ñ§ºÏ³É) ) ) / ×Ô϶øÉÏ0ºÏ³É·¨Clar µÈ¿ª´´Á˶໷·¼Ìþ( PAH) ºÏ³ÉºÍÐÔÄܱíÕ÷µÄÏȺÓ, µ«²úÂʽϵÍ, ´ËºóHalleux µÈ[ 4] ¡¢SchmidtµÈ[ 5] ¡¢M™llen µÈ[ 16, 17] ¶ÔÕâÒ»·½·¨½øÐиĽø, Ä¿Ç°ÕâÖÖ·½·¨ºÏ³É½Ï´óÌåϵµÄʯīϩÖ÷ÒªÊÇͨ¹ýDiels2Alder·´Ó¦( ͼ2 ) ¡¢Pd ´ß»¯µÄHagihara2Sonogashira,Buchwald2Hartwig »òKumadaPNegishi żºÏµÈÏȺϳÉÁù±½²¢Þ¢(HBC) , È»ºóÔÚFeCl3 »òCu(OTf) 22AlCl3 ×÷ÓÃÏ»·»¯ÍÑÇâµÃµ½½Ï´óƽÃæµÄʯīϩ¡£»¯ºÏÎï2 ) 4Ϊ±ßÔµÊǾâ³ÝÐεÄʯīϩ[18, 19] , »¯ºÏÎï1 ÊÇÄ¿Ç°Óô˷½·¨ºÏ³ÉµÄ×î´óƽÃæµÄʯīϩ[ 20] ¡£M™llenµÈ[ 21] ¶Ô´Ë·½·¨ºÏ³Éʯīϩ½øÐÐÁË×ÛÊö¡£ÕâÖÖ·½·¨µÄȱµãÊÇ: ·´Ó¦²½Öè¶à, µ±Ãæ»ý´óʱÐèÒª½Ï¶àµÄ´ß»¯¼Á, ·´Ó¦Ê±¼ä³¤, ÍÑÇâЧÂʲ»¸ß, ÓпÉÄÜΪ²¿·ÖÍÑÇâ;´ËÍâ, ÓÃżÁª·´Ó¦ºÏ³ÉHBC ʱҪÓýðÊô´ß»¯¼Á,Õâ»áÔì³É»·¾³ÎÛȾ.

     ÒÔʯīΪԭÁÏÖƱ¸
      ÎïÀí·½·¨
      ( 1) ΢»úеÁ¦°þÀë·¨[1]
ÒÔ1mm ºñµÄ¸ßÈ¡Ïò¸ßÎÂÈȽâʯīΪԭÁÏ, ÔÚʯīƬÉÏÓøɷ¨ÑõµÈÀë×ÓÌå¿ÌÊ´³öÒ»¸ö5Lm ÉîµÄƽ̨( ³ß´çΪ20Lm) 2mm, ´óС²»µÈ) , ÔÚƽ̨µÄ±íÃæÍ¿ÉÏÒ»²ã2Lm ºñµÄÐÂÏʹâ¿Ì½º, ±º¹Ìºó, ƽ̨Ã渽×ÅÔÚ¹â¿Ì½º²ãÉÏ, ´ÓʯīƬÉÏ°þÀëÏÂÀ´¡£ÓÃ͸Ã÷¹â¿Ì½º¿ÉÖظ´µØ´Óʯīƽ̨ÉÏ°þÀë³öʯī±¡Æ¬, ÔÙ½«ÁôÔÚ¹â¿Ì½ºÀïµÄʯī±¡Æ¬ÔÚ±ûͪÖÐÊͷųöÀ´, ½«¹èƬ½þÅÝÆäÖÐ, Ìá³ö, ÔÙÓÃÒ»¶¨Á¿µÄË®ºÍ±ûͪϴµÓ¡£ÕâÑù, һЩʯī±¡Æ¬¾Í¸½×ÅÔÚ¹èƬÉÏ¡£½«¹èƬÖÃÓÚ±ûͪÖÐ, ³¬Éù³ýÈ¥½ÏºñµÄʯī±¡Æ¬, ¶ø±¡µÄʯī±¡Æ¬( d< 10nm) ¾Í±»Àι̵ر£ÁôÔÚSiO2 ±íÃæÉÏ( Õâ¹é½áÓÚËüÃÇÖ®¼ä½ÏÇ¿µÄ·¶µÂ»ªÁ¦ºÍëϸ¹Ü×÷ÓÃÁ¦)
»úе°þÀë·¨ÊÇ×î³õÓÃÓÚÖƱ¸Ê¯Ä«Ï©µÄÎïÀí·½·¨¡£ÕâÖÖ·½·¨µÄȱµãÊÇ: ·Ñʱ·ÑÁ¦, ÄÑÒÔ¾«È·¿ØÖÆ,Öظ´ÐԽϲî, ÄÑÒÔ´ó¹æÄ£ÖƱ¸¡£
       ( 2) Ó¡ÕÂÇÐȡתÒÆÓ¡ÖÆ·¨[23]
ÔÚÓ¡ÕÂÍ»ÆðµÄ±íÃæÉÏÍ¿ÉÏÒ»²ã/ ת»»²ã0 ( ¿ÉÓÃÊ÷Ö¬Àà²ÄÁÏͨ¹ýÐýתͿ²¼·¨¾ùÔÈÍ¿ÓÚ±íÃæ, Æä×÷ÓÃÏñ½ºË®ÄÇÑù𤸽ʯīϩ) , ÔÚ300psi ¼°ÊÒÎÂÏÂ, ½«ÕâÖÖÓ¡Õ°´Ñ¹ÔÚʯīÉÏ, ¸ßѹÏÂÓ¡Õ±ßÔµ²úÉú¼«´óµÄ¼ôÓ¦Á¦, ʹµÃʯīϩ²ã´ÓʯīÉÏ·ÖÀëÏÂÀ´¡£ÀàËƵØ, ½«Ê¯Ä«Ï©²ã´ÓÓ¡ÕÂÉÏתÒƵ½Æ÷¼þÉÏͬÑùÐèÒª/ ¹Ì¶¨²ã0( ÒªÇóÕâÖÖ/ ת»»²ã0Óëʯīϩ¼äµÄ×÷ÓÃÁ¦Ô¶´óÓÚ/ ת»»²ã0Óëʯīϩ¼äµÄ×÷ÓÃÁ¦) , ¾­ÀàËƵIJÙ×÷ʹµÃʯīϩ´ÓÓ¡ÕÂÉÏ°þÂäÏÂÀ´¡£Ó¡ÕÂÇÐȡתÒÆÓ¡ÖÆ·¨²Ù×÷¼òµ¥, µ«ÄÑÒÔÖƱ¸µ¥²ãʯīϩ, Stephen µÈ[ 23] ͨ¹ý´Ë·½·¨µÃµ½µÄ¶àΪËIJãµÄʯīϩ( ºñ¶ÈԼΪ113nm) ¡£
»¯Ñ§·½·¨
        ( 1) SiC ÈȽâµÄÍâÑÓÉú³¤·¨[24 ) 28]Ê×ÏÈ, ÑùÆ·¾­¹ýÑõ»¯»òH2 ¿ÌÊ´±íÃæ´¦Àí, È»ºóÔÚ³¬¸ßÕæ¿ÕÏÂ( 1 @10- 10 Torr) ¾­µç×Óºä»÷¼ÓÈȵ½1 000 e , ³ýÈ¥Ñõ»¯Îï,²¢ÓöíЪµç×ÓÄÜÆ×(AES) ¼à²â, µ±Ñõ»¯ÎïÍêÈ«È¥³ýºó, ¼ÓÈÈÑùÆ·ÖÁ1 250 )1 450 e , Õâʱ½«ÐγÉʯīϩ²ã, ʯīϩµÄºñ¶ÈÓë¼ÓÈÈζÈÏà¹Ø, ÇÒ¿Éͨ¹ýAES( ÈëÉäÄÜΪ3keV) ÖÐSi( 92eV) ºÍC ( 271eV) µÄ·åÇ¿¶È²â¶¨Ê¯Ä«Ï©µÄºñ¶È¡£ÕâÖÖ·½·¨¿ÉµÃµ½µ¥²ãºÍË«²ãʯīϩ, µ«ÆäȱµãÔÚÓÚ: ÄÑÒÔ´óÃæ»ýÖƱ¸, ³ÉĤ²»¾ùÔÈ; Ìõ¼þ¿Á¿Ì, ¸ßÎÂ> 1 100 e , ³¬¸ßÕæ¿Õ10- 10Torr ( ³É±¾¸ß) ¡£# 2561 # µÚ12 ÆÚÐìÐã¾êµÈ ʯīϩÑо¿½øÕ¹
       ( 2) »¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(CVD) ·¨[29, 30]»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý( chemical vapor deposition, CVD) ÊÇ·´Ó¦ÎïÖÊÔÚÏ൱¸ßµÄζȡ¢Æø̬Ìõ¼þÏ·¢Éú»¯Ñ§·´Ó¦, Éú³ÉµÄ¹Ì̬  ÎïÖʳÁ»ýÔÚ¼ÓÈȵĹÌ̬»ùÌå±íÃæ, ½ø¶øÖƵùÌÌå²ÄÁϵŤÒÕ¼¼Êõ¡£Ëü±¾ÖÊÉÏÊôÓÚÔ­×Ó·¶³ëµÄÆø̬´«Öʹý³Ì¡£Dato µÈ[ 31] ±¨µÀÁËÒ»ÖÖÐÂÐ͵ÈÀë×ÓÌåÔöÇ¿»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨, ÒÒ´¼ÒºµÎ×÷Ϊ̼Դ, ÀûÓÃAr µÈÀë×ÓÌåºÏ³Éʯīϩ, ¼«´óµØËõ¶ÌÁË·´Ó¦Ê±¼ä¡£
      ( 3) Ñõ»¯2·ÖÉ¢2»¹Ô­·¨( º¬Ñõ»¯2ÐÞÊÎ2»¹Ô­·¨)
      ÕâÊÇÄ¿Ç°Ó¦ÓÃ×î¹ã·ºµÄºÏ³É·½·¨¡£ËüÊǽ«Ê¯Ä«Ñõ»¯µÃµ½ÈÜÒºÖзÖÉ¢( ½èÖú³¬Éù¡¢¸ßËÙÀëÐÄ) µÄʯīϩǰÌå, ÔÙÓû¹Ô­¼Á»¹Ô­µÃµ½µ¥²ã»ò¶à²ãʯīϩ¡£³£¼ûµÄÑõ»¯·½·¨ÓÐBrodie ·½·¨ÒÔ¼°Staudenmaier ·½·¨[ 34] , Æä»ù±¾Ô­Àí¾ùΪÏÈÓÃÇ¿ÖÊ×ÓËá´¦Àíʯī, ÐγÉʯī²ã¼ä»¯ºÏÎï, È»ºó¼ÓÈëÇ¿Ñõ»¯¼Á¶ÔÆä½øÐÐÑõ»¯¡£ÆäÖÐ, Brodie ·½·¨²ÉÓ÷¢ÑÌÏõËá¼°KClO3 ×÷ΪÑõ»¯¼Á¡£Staudenmaier ·¨ÓÃŨÁòËáºÍ·¢ÑÌÏõËá»ìºÏËá¶Ôʯī½øÐд¦Àí, ͬÑùÒ²ÊÇÒÔKClO3 ΪÑõ»¯¼Á¡£Hummer ·½·¨ÔòʹÓÃŨH2SO4¡¢NaNO3 ¼°KMnO4 ×÷Ñõ»¯¼Á, Hummer µÄʵÑé±íÃ÷Èç¹ûµÃµ½µÄÑõ»¯Ê¯Ä«Ï©º¬ÑõÁ¿±È½Ï¸ßʱ³ÊÏÖ»ÆÉ«, µÍʱÔò³ÊÏÖºÚÉ«[ 32] ¡£¹ØÓÚÑõ»¯Ê¯Ä«Ï©µÄÖƱ¸, ÑîÓÀ¸ÚµÈ[ 35] Ò²×öÁ˽ÏÏêϸµÄ×ܽᡣ´ËÍâ, ¼äÂȹýÑõ±½¼×Ëá(MCPBA) Ò²¿ÉÒÔ×÷ΪÑõ»¯¼Á[ 36] ¡£³£ÓõĻ¹Ô­·½·¨ÓÐË®ºÏë 


 

 
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