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良好的粘附性优秀的分辨率的黄光制程用感光湿膜

作者： touchpanel 时间：2013-03-22 源于：中国触摸屏网总点击：

【导读】：黄光制程用感光湿膜对ITO玻璃与ITO膜均具有良好的粘附性，优秀的分辨率。良好的涂布性，曝光宽容度好，线条清晰。

黄光制程用感光湿膜

对ITO玻璃与ITO膜均具有良好的粘附性，优秀的分辨率。
良好的涂布性，曝光宽容度好，线条清晰。

分辨率对比
测试条件

基板	ITO玻璃
膜厚	1.62um
前烘	100℃ x 90sec
曝光	85mJ/cm2
显影	0.8% KOH x 60sec

黄光制程用感光湿膜分辨率对比

ITO基板粘附性好
测试条件

基板	ITO玻璃
膜厚	1.62um
前烘	100℃ x 90sec
曝光	60-100 mJ/cm2
显影	0.8% KOH x 60sec
后烘	120℃ x 90sec
蚀刻	HNO3:HCl:H2O = 4:23:73 @ 40℃X 100sec

黄光制程用感光湿膜ITO基板粘附性好

剥离性良好
测试条件

基板	ITO玻璃
膜厚	1.62um
前烘	100℃ x 90sec
曝光	60-100 mJ/cm2
显影	0.8% KOH x 60sec
后烘	不同温度 x 180sec
蚀刻	HNO3:HCl:H2O = 4:23:73 @ 50℃X 200sec
剥离	3.0% NaOH @ 50℃ X 120sec

黄光制程用感光湿膜剥离性良好

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