北京时间11月03日消息,中国触摸屏网讯,维易科(VEECO)和 ALLOS 展示行业领先的 200MM 硅基氮化镓性能,推动 micro-LED 的应用。纽约普莱恩维尤(Plainview),2017年11月1日– Veeco公司 (Nasdaq: VECO)今日宣布和 ALLOS Semiconductors (ALLOS)达成了一项战略举措,展示了 200mm 硅基氮化镓晶圆用于蓝/绿光 micro-LED 的生产。维易科和 ALLOS 合作将其专有外延技术转移到 Propel® 单晶圆 MOCVD 系统,从而在现有的硅生产线上实现生产 micro-LED。

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“使用 Propel 反应腔,我们就拥有了一项 MOCVD 技术,这项技术能够实现高产量的 GaN 外延,满足在200毫米硅生产线上生产 micro-LED 器件的所有要求,” ALLOS Semiconductor 的首席执行官 Burkhard Slischka 这样说。

“不到一个月时间我们就已经在 Propel 上对我们的技术进行了验证,并且获得了无裂纹、无回熔的晶圆,翘曲度低于30微米,晶体质量高,厚度均匀性优异,波长均匀性小于1纳米。同 Veeco 携手,ALLOS 期待着将该技术在 micro-LED 产业中更为推广。”

Micro-LED 显示技术由<30x30 平方微米的红、绿和蓝(RGB)无机LED组成,这些 LED 被转化为显示屏背板,以形成亚像素。与有机 LED(OLED)和液晶显示(LCD)相比,这些高效的 LED 直接发射功耗更低,却可以为移动显示器、电视和可穿戴式计算机提供优异的亮度和对比度。Micro-LED 的制造要求优质、均匀的外延晶圆,以满足显示屏的产量和成本控制的要求。

“和竞争对手的 MOCVD 平台相比, Veeco 的 TurboDisc® 技术提供的制程窗口更大,因此 Propel 能提一流的均匀性同时还能获得优良的膜品质,”维易科高级副总裁兼 MOCVD 运营总经理 Peo Hansson 博士这样说。“将 Veeco领先的 MOCVD 专业技术和 ALLOS 的硅基氮化镓外延晶片技术相结合,使我们客户能够开发出低成本的 micro-LED,以便于在新的市场中开拓新的应用。”

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