北京时间09月22日消息,中国触摸屏网讯,   半导体设备厂应用材料扩展电子束检视系统市场,推出面板生产在线用的电子束检视系统,目前已获6家全球前十大显示器制造厂订单。 

    本文来自:http://www.51touch.com/material/news/dynamic/2016/0922/43870.html

    应用材料指出,面板生产在线用的电子束检视系统是将原用在半导体组件检视的扫描式电子显微镜技术,结合在大尺寸显示器的真空系统平台上,可在制造显示器时,快速有效发现与分析造成良率损失缺陷的原因。 

    应用材料表示,目前在显示器制造中使用的自动光学缺陷检测机台,无法像扫瞄式电子显微镜一样有效辨识致命与非致命的缺陷,或确认系统性的起因。 

    此外,以扫描式电子显微镜分析显示器制品,须用破坏性检视,将玻璃基板切割成小片取样,再分别将每块小片于显微镜下检查,不仅耗资、费时,并难以定位缺陷在整片面板上的确切位置。 

    应用材料指出,新推出的生产在线电子束检视系统不需破坏面板,可解决现有检测限制;目前已获6家全球前十大显示器制造厂订单。 

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