如何用MBE方法制备白光Micro LED?
作者:51Touch时间:2018-04-03 来源:BriaRWang
北京时间04月03日消息,中国触摸屏网讯,如题,是否可以做layer by layer 外延生长 的RGB tandem white led呢?
本文来自:http://www.51touch.com/lcd/news/dynamic/2018/0403/50089.html
其实其中关键的一半,在于MBE方法的使用。
如题所说生长方法是MBE(molecular beam epitaxy, MBE)是做薄膜材料生长,科研领域里的一个比较常见的方法。但是,做薄膜这事,科研上用的很多的方法未必能在工业上用。工业上一般就三大类:真空蒸镀,磁控溅射和CVD。个人建议不妨考虑一下磁控溅射方法。CVD也查一下资料吧。这俩估计项目投资也就几千万到几个亿罢了(逃,半导体就这样)
MBE是在超高真空环境下,直接将已经被原子化的半导体元素直接“喷”到衬底表面。在高级的MBE设备里,你可以使用几个喷枪同时喷原子到衬底表面上。
关于这道题,可能的做法是:
- 先在衬底上制造蓝光LED器件。因为蓝光LED相比红黄光最难做。
- 用MBE仪喷红,黄光LED到已经被制造成功的蓝光LED器件上。借此应该是可以制造出,白光LED的。
当然,或许用荧光粉可以替代其中的部分半导体生长工艺。
在这个过程中要尽量少做薄膜蒸镀,用荧光粉或者掺杂之类替代是一个很好的思路。
优点:毫无疑问MBE做薄膜生长是非常高级的方法(相比工业上应用的比较多的真空蒸镀和磁控溅射)。这种方法是可以制造极高品质薄膜器件的。尤其是可以制造一些,用传统方法不可能制造出来的器件。
缺点:这套设备价格会非常高。首先,要求真空度在10负8次方以下,光是真空设备就是一个极大的支出了。另外,成型的专门做MBE的设备,价格至少都在数百万人民币以上。因为大学做MBE的都不是非常多。能够成规模大批制造白光LED器件的工业设备价格只会更可怕(整个生产线或许吃掉几十个亿都是很轻松的)。
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