北京时间04月13日消息，中国触摸屏网讯，有消息称目前已经有韩国厂商尝试采用6代线切割LTPS AMOLED。不过，与a-Si TFT高达90%以上的良品率相比，低良品率一直是横亘在LTPS面前的一大问题。日前，应用材料公司推出可用于6代线的25KPXi CVD设备，采用超低缺陷控制设计，可提升设备性能和系统稳定性，有利用推动LTPS AMOLED向6代线过渡。

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      控制好颗粒、提高设备性能、提高系统的稳定性都是确保LTPS AMOLED顺利向6代过渡的重要保障。

　　6代LTPS AMOLED受关注

　　LTPS(低温多晶硅技术)最初是为降低显示屏幕的能耗，令显示屏更薄更轻而研发的一项背板驱动技术。由于采用它之后，液晶显示屏电子迁移率将比传统的a-Si TFT更高，也被引入AMOLED显示屏领域，并大大加速了小尺寸OLED的开发与量产进程。目前，以智能手机为代表的移动显示市场增长很快，需要更高精度、更大尺寸，未来对柔性屏的需求也很大。具备上述特点的LTPS AMOLED技术被广泛看好。

　　行业咨询机构NPD DisplaySearch数据显示，随着高分辨率智能手机的盛行以及智能手机屏幕平均尺寸持续增长，LTPS面板需求将持续走高，2013年LTPS面板需求面积为328.8万平方米，AMOLED面板需求面积为137.6万平方米;预计至2020年，LTPS面板需求面积年复合增长率将为24.1%，AMOLED面板需求面积年复合增长率达40.7%。

　　受市场驱动，从去年底开始已有韩国厂商尝试采用6代线切割LTPS AMOLED。有业者向记者透露：“预计到了明年就会有一个比较规模化的一个6代LTPS AMOLED生产线出货”。

　　与此同时，国内显示面板企业也开始推进第6代LTPS生产线的建设，将来未尝不能转向AMOLED的生产。

　　良率提升是关键

　　尽管采用LTPS技术的中小尺寸面板在全球非常具有市场竞争力，但是与传统的非晶硅和金属氧化物薄膜晶体管相比，LTPS生产工艺更加复杂，技术难度也更高，显示企业虽然有动力采用更高世代产线投入生产，可是良品率的提高却一直是一大挑战。

　　清华大学教授高鸿锦表示，LTPS不像a-Si那么稳定，想要提高工艺和技术并不是一件容易的事情。如果LTPS能够降到6次掩膜，那么良品率会提高很多。

　　“目前所有投资LTPS的厂商，最关注的一点就是良品率的提高。良品率理论上应该是可以达到85%以上，特别是对于一些LTPS/AMOLED量产经验丰富的企业来说，但对有些企业来说，良品率确实是一个问题。”应用材料公司显示事业部首席营销官Max McDaniel表示，“但正因如此，当别人都受到良品率困挠的时候，你如何能够快速控制好良率的话，就能让你把握市场先机。”

　     控制好颗粒

　　“提升良品率的关键之一是要控制好生产过程中的颗粒。” Max McDaniel表示。市场对显示面板分辨率的需求越来越高，300PPi以上的显示屏越来越普遍。“但是在提高分辨率的时候，薄膜晶体管的尺寸势必越做越小。在正常生产条件下，颗粒的存在是必然的，且越小的颗粒数量越多。但是随着薄膜晶体管尺寸的变小，原来不会引起致命缺陷的小颗粒就会变成致命的缺陷。应材一直在和客户一起来合作，或者开发新的生产工艺，或者是研发新的生产设备，就是希望能够控制好工艺生产中的颗粒，将它控制在不致影响良品率的情况下。”

　　“25KPXi CVD是专门针对大尺寸LTPS而设计的，其首先目标就是要在良率颗粒的控制上做进一步的改进，简化设计，可有效识别颗料来源，从而在降低颗粒的产生。” Max McDaniel介绍。

　　此外，25KPXi CVD还采用了HCE(空心阴极效应)技术，其进行更加有效地进行气体分离，形成更高质量的薄膜，更高的射频功率亦可降低放电风险，提高等离子密度的可控性可使成膜的均匀性提高。

　　最后，Max McDaniel还指出，对于进行大批量生产的显示工厂来说，还十分重视设备系统的稳定性。在这方面，应材具有丰富的6代线以上的安装经验，同时具备完善的本地支持能力。可以到现场帮助客户调试机台，更快地提升良品率。

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