突破OLED核心装备技术困局 欣奕华持续发力显示行业OLED蒸镀设备。8.5代线型蒸发源成功导入客户试量产线,点型蒸发源通过量产验证......进入OLED产业以来,欣奕华始终积极布局,持续发力显示产业核心设备——OLED蒸镀设备。随着OLED应用场景从TV、手机等传统领域,向智慧家居、智能汽车、远程医疗等全新场景快速扩展,欣奕华也在风起云涌的行业发展中,看到了企业持续推进技术攻坚后的更多可能性。


 

在2020中国显示大会上,欣奕华科技集团OLED事业本部总经理曹景博特别发表了题为《OLED蒸镀设备及核心部品开发现况》的精彩演讲,和与会专家、学者、企业代表一起,探讨了OLED蒸镀设备的现状,并分享了欣奕华相关设备及部品的开发情况。

目前,全球新型显示产业处于第三代技术发展阶段。CINNO Research数据显示,2019年全球OLED产能总面积约为2200万平方米;受新产能持续投产拉动,2024年这一数字有望达到5560万平方米,增长率超过150%。巨大的产能投入将从供给侧推动OLED渗透率持续上升。同时,5G世代的到来创造出更多可能,引领消费电子升级,OLED产业会出现新的产品增长点。对此,国内京东方,华星光电等厂商在OLED产业领域进行了较大规模的布局,但是上游专用设备大部分来自TOKKI, YAS, SFA, Sunic等企业,产业发展始终受制于人。曹景博表示,“国内OLED设备商起步晚,研发需要大量资金投入,本土供应链和人才缺乏,大大影响了设备的国产化进度。”

面对OLED核心装备技术困局,欣奕华于2015年成立OLED事业部,专门攻克OLED蒸镀装备技术。目前已实现OLED蒸镀装备的自主开发和产业化应用,其中包括蒸发源、对位系统以及研发用和量产型蒸镀机。此外,在国内缺乏OLED设备制造技术背景下,公司与国际领先的加工企业合作,引进国外高端设计和制造技术,深入开展技术开发验证和工艺研究测试,成功突破了核心工艺技术(多线源均匀共蒸工艺技术和掩膜版精准对位技术)。欣奕华掌握OLED蒸镀设备关键部件、技术和整机制造核心能力的同时,可向国内外OLED行业相关客户提供高水平OLED蒸镀设备系统产品和产线技术改造服务。另外,欣奕华可根据客户需求进行各尺寸蒸发源(点源、线源)、对位系统和蒸镀腔体等核心部件和整机设备的定制化开发与制作,以满足不同客户的使用需求。

会上,曹景博特别分享了欣奕华在蒸发源和中小尺寸蒸镀机方面的开发现状。“对高PPI显示的追求促使蒸发源的设计也在不断升级。随着蒸镀产生的shadow需要减小化,我们也在对蒸镀技术进行不断完善,比如为了扩大蒸镀入射角,对喷嘴N值进行了设计改善。”曹景博说,“欣奕华蒸发源为完全自主研发,现已能够达到量产工艺水平,8.5代线型蒸发源已经成功导入客户试量产线,点型蒸发源也已通过量产验证”;针对中小尺寸蒸镀机研发进展与市场投放情况,欣奕华基于不断的技术攻克,目前已实现3台以上小型OLED蒸镀机的销售业绩。其中,自主开发的对位装置核心部品已成功导入客户6代量产线。同时,欣奕华还是国内首家开发出G2.5(玻璃尺寸370mmx470mm)Cluster蒸镀机和12寸AR/VR(Wafer直径300mm)蒸镀机的企业,进一步填补了国内自主研发可量产OLED蒸镀机机型空白。

随着未来显示市场需求增长率的提高,中国的 OLED 用蒸镀机市场将迎来发展的关键期,如何做好上游关键设备始终是欣奕华关心的事情。据悉,欣奕华已在高世代蒸镀机和roll to roll(卷对卷)设备上进行布局。此外,随着OLED面板产能增加,量产效率有待提升,更长的蒸镀时间要求也对蒸镀效率和坩埚容量提出了更高的标准。欣奕华也将深入进行蒸发源(高温线源)的研究,解决目前高温材料使用点源蒸镀造成效率低且容量受限的问题。“欣奕华将继续坚持以客户为中心,联合创新,开拓进取,用优质的产品为推动国内OLED装备市场的蓬勃发展,为提升国产装备话语权,为中国显示产业发展作出最好的注脚。”曹景博说。

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