PLASMA——真空电浆清洗机 MCP-CA050


真空电浆清洗机 MCP-CA050

设备特色:

    1. 高密度电浆源,制程气体用量少,低功率与短时间即可达到清洁效果,符合绿能经济与生产效益。
    2. 架构简单,电浆均匀性佳,不会产生Arc破坏基板,维护容易,机台可靠性高。
    3. 单一批次可以多层放置,提高单批次产能竞争力。

应用范例:

    1.ITO玻璃表面清洁。
    2.电子元件、光电元件、IC封装贴合前清洁。
    3.镀膜前表面清洁、粗化及接枝改质。
    4.改善表面亲水性,增加印刷或胶合黏着力。
    5.无自由电子轰击,可适用生医材料处理。

电浆实景 / 操作画面


处理效果实景图

  

规格样式:

机台尺寸 1100(L)x 1200(W)x 2100(H) mm
电源需求 220V三相60Hz,<50A
制程气体 氧气,依制程不同,可使用不同气体,MFC控制
破真空气体 N2或CDA,5 kgf/cm2,200 L/min,可客制化
冷却水 3~6 kgf/cm2,>5 L/min,18~22℃
系统控制 触控PLC
批次处理时间 依制程需求调整设定

外观尺寸

 

 

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