Dry Clean System 干式超音波除尘系统

设备特色：

    1. 5um particle去除率高达 98%以上
    2. 免维修、低损耗、空间易配置
    3. 流体平衡设计，气体不外漏
    4. 非接触式设计，无损伤材质疑虑

设备应用：

    适用于贴片、曝光、蚀刻、检查等制程前段，有效去除基板的particle，提升基板整体制程良率。

    均匀的出风量，确保有效范围内的清洁效能更加稳定且不会造成二次性的污染。

应用实例：

 

    搭配设备双面同时清洁，降低Cost，提升制程良率。

    整体搭配简洁，体积小省空间。有效去除基板的particle，提升基板整体制程良率。

外观尺寸：

规格样式：