产品参数:
内尺寸: | W600*D500*H600/W600*D500*H900mm |
外尺寸: | W1060*D1240*H1550/W1060*D1240*H1850mm |
温度范围: | 50-200℃ |
升温时间: | 30MIN内 |
均匀性: |
±1.5%(空载测试) |
内箱材质 | SUS304#镜面不锈钢 |
外箱材质: | SS41#钢板经防锈处理后高温粉体烤漆 |
电热: | (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器 |
配备: | HEPA Filter、压差计、流量计 |
洁净度: | Class100#,FED—STD—209E洁净等级标准 |
进气量: | N2或 Clean Air |
MAX: | 25l/lmin |
应用: | LCD、CMOS、 IC制程烘烤 |
保护装置: | 超温防止器、马达过电流保护、控制线路保险丝、无熔丝开关、 所有电气配件皆采用符合国家标准之正厂一级产品。 |