无尘烤箱AMOL-2/AMOL-3

产品参数:

内尺寸: W600*D500*H600/W600*D500*H900mm
外尺寸: W1060*D1240*H1550/W1060*D1240*H1850mm
温度范围: 50-200℃
升温时间: 30MIN内
均匀性:

±1.5%(空载测试)

内箱材质 SUS304#镜面不锈钢
外箱材质: SS41#钢板经防锈处理后高温粉体烤漆
电热: (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器
配备: HEPA Filter、压差计、流量计
洁净度: Class100#,FED—STD—209E洁净等级标准
进气量: N2或 Clean Air
MAX: 25l/lmin
应用: LCD、CMOS、 IC制程烘烤
保护装置: 超温防止器、马达过电流保护、控制线路保险丝、无熔丝开关、
所有电气配件皆采用符合国家标准之正厂一级产品。
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