电子材料院深反应离子刻蚀设备、激光解键合一体机采购项目中标
时间:2022-12-02 17:19:52
来源: 爱集微
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原标题:【中标】北方华创中标深圳电子材料院2套设备,涉及离子刻蚀等
12月2日消息:11月27日,深圳先进电子材料国际创新研究院(以下简称“电子材料院”)深反应离子刻蚀设备、激光解键合一体机采购项目中标结果公布。
中标人为北京北方华创微电子装备有限公司,标的物1套深反应离子刻蚀设备和1套激光解键合一体机。
电子材料院成立于2019年,聚焦集成电路高端电子封装材料,由中国科学院深圳先进技术研究院和深圳市宝安区人民政府合作共建。其官方消息称,目前已完成一期约23000平方米电子材料院园区建筑的改造和装修,已有5条电子材料中试线及检测平台的入驻;二期规划建筑面积约20000平方米,主要包含理化实验平台、中试线、封装材料验证平台等功能。
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