深圳市华硕印材有限公司
黄光制程用感光湿膜
对ITO玻璃与ITO膜均具有良好的粘附性，优秀的分辨率。
良好的涂布性，曝光宽容度好，线条清晰。
分辨率对比
测试条件
| 基板 | ITO玻璃 |
| 膜厚 | 1.62um |
| 前烘 | 100℃ x 90sec |
| 曝光 | 85mJ/cm2 |
| 显影 | 0.8% KOH x 60sec |
黄光制程用感光湿膜分辨率对比
ITO基板粘附性好
测试条件
| 基板 | ITO玻璃 |
| 膜厚 | 1.62um |
| 前烘 | 100℃ x 90sec |
| 曝光 | 60-100 mJ/cm2 |
| 显影 | 0.8% KOH x 60sec |
| 后烘 | 120℃ x 90sec |
| 蚀刻 | HNO3:HCl:H2O = 4:23:73 @ 40℃X 100sec |
黄光制程用感光湿膜ITO基板粘附性好
剥离性良好
测试条件
| 基板 | ITO玻璃 |
| 膜厚 | 1.62um |
| 前烘 | 100℃ x 90sec |
| 曝光 | 60-100 mJ/cm2 |
| 显影 | 0.8% KOH x 60sec |
| 后烘 | 不同温度 x 180sec |
| 蚀刻 | HNO3:HCl:H2O = 4:23:73 @ 50℃X 200sec |
| 剥离 | 3.0% NaOH @ 50℃ X 120sec |
黄光制程用感光湿膜剥离性良好
