干蚀刻的mark点,激光印的mark点在后面工序里不清楚,对位老偏.惆怅啊~

1.mark点刻蚀的太深或者太浅了，这样都会导致中心点不清楚
$ J3 s6 P5 ^/ a4 K  W2.加强后端ccd的抓靶强度
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个人拙见，仅限参考：）

兄弟，我做LCM的，把你的MARK拍个照片上来看看，看看是激光设备刻的MARK烂还是贵公司买的设备采用的画像系统烂，设备的画像处理系统是哪家的啊，不行的话还个滤光镜片吧，你现在用的侧灯是红光还是白光，还是LED灯啊。2 T5 d) v' r, y/ m, V5 V* b
               翟: B% @- F- G& D$ A9 q
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2 x4 C3 @7 H5 d6 F9 J6 k
[ 本帖最后由 zhai 于 2008-6-24 13:08 编辑 ]