对了，忘记说了，纯用振镜式（SCAN）的ITO刻蚀，是没道理的，首先线性非常不好，其次，线宽达不到要求（70-100UM）！
: [& _& M; t) Q   韩国机器就像韩剧，粗糙无品位，快餐垃圾。

honghaishe 先生，能否多提供一些关于激光蚀刻的信息，非常感谢！* i% ^4 i, }5 N9 ^8 p2 t* f
             如有可能，可发资料到我邮箱 raozhengjun@126.com     期待！

小朋友说得就不在理了，可能用的激光机太少了，我还在为振镜式线宽太宽而发愁呢。知道为什么吗？跟聚焦镜有关系，焦距太大了就线宽了，反之而论，想必你也明白，还有功率频率速度光斑等很多因素有关，还有聚焦镜的尺寸大小也不是非专业人士随便搞的。至于线性，除非激光功率焦点不好，蚀刻不净才可能造成很明显的线性不良，其他不存在线性不好的问题，反而比化刻和药刻更好，因为其他两个是要洗的，有一点不干净就回影响线性。生产技术是要多看，多试验才可下结论。不是你说不好就不好的。  至于韓國產品我雖然沒用過，哈哈，但算了，小翟會生氣的，不說了。

我的怎么看不到附件，

我见过HARDRAM设备，打样出来的东西也看了，线宽确实只有70-100，并且线性不好（仅仅是不影响后续工艺）

可能是我见得激光设备少了，我想问HONGHAISHE大哥，你上面说线宽太宽？你们能做多宽？我真虚心想请教下。。。急啊

HONGHAISHE兄，SCAN模式，如果要保证线宽的话（150-200UM），落在材料上的光斑能量能使材料刻蚀干净吗？

国内激光蚀刻机做TP有谁在用，多久了，性能稳定吗？我准备用。

呵呵，兄弟们各自发表自己的意见，但是我们在韩国已经有大量的用户，70-80台的实际销售业绩，现在电容用的16UM-20UM的也在大量销售中，存在就有它存在的道理，小朋友兄弟你说呢，对了现在最热的IPONE式样双面玻璃激光刻蚀我们可以做，国内客户的样品也给国内了，客户测试结果没问题，最近电阻TP市场有点下降，很多客户计划都延迟了，或者还是投的湿法刻蚀，有投激光刻蚀的吗，请联系我, v) F3 s9 G% M1 T& v' g
翟
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ZHAI兄，刻蚀电容的我不清楚，但韩国设备在国内有人在使用吗？70-80台？