现在由于环保的需要，一般新建的工业园都不允许用湿蚀刻技术了，那目前干蚀刻是不是就是只有激光蚀刻机？

有知道的大侠跳出来或者用过的出来说说啊

干刻不是激光蚀刻，是用能和ITO反应的化学物质印刷在ITO膜上，过一定的时间后会把不要的ITO蚀刻掉，还是对环境有影响的。激光蚀刻是用一定的波长和单位面积能量的激光把ITO瞬间汽化掉，这个对环境是没有影响的。

原来是这样啊& O$ e& q( I6 Z+ ]

那么传统的光刻是什么呢

就是用特定的波长，速度，功率等等要点配合在一起，和配套的图形去打掉ITO，又对基材不造成影响的一种方法，原则上懂行的人做得好是速度和效率，透光率，良率都超过其他蚀刻的。实际上现在能制造蚀刻机的不懂行不懂得实际生产应用，懂行又懂激光的人就更少了，留下MSN单独联系吧。

我看到过上海一家公司还有苏州一家公司有激光蚀刻机) e2 f4 g  [( N6 V# K$ M$ {
关于这个速度问题有些疑虑
: y7 @; P9 t; W+ Y5 F' [蚀刻机的速度到底能够达到多少呢

顶上去' O7 h" z* E. n5 j! d
这是新设备3 d# Z% m! F& `3 |
知道的人不多么

韩国激光刻蚀机器，我来提供一下国内客户访韩时候带大片样品测试的现场报告，速度最快可以到2.6甚至更高，我们采用的是紫外线的激光头，采用SCAN 方式，比日本de速度快2倍，是量产的最好选择，价格也有优势，欢迎来电咨询
9 p, A, d1 P7 c# B; N; E4 `, H     翟杰明
; f) `  ~0 _' W3 n- M+ n/ u1 Q  岸本（KISCO）贸易上海有限公司  s" s) k: J/ V4 Z
021-68412957
0 }, r& x9 |* V! L13701858691
& Q. T+ z3 h' W& s2 @% j6 V$ W( ]7 H( o) x
[ 本帖最后由 zhai 于 2008-6-4 09:56 编辑 ]

请问一下综合良率多少
  ]. @% }) T1 B速度怎么算出来的
2 p: y; ^8 {/ E8 f6 P# n6 T* g线性如何