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savvylg 2008-6-23 15:58

求助:干蚀刻问题

干蚀刻的mark点,激光印的mark点在后面工序里不清楚,对位老偏.惆怅啊~

支持国产 2008-6-23 16:24

1.mark点刻蚀的太深或者太浅了,这样都会导致中心点不清楚;yxi3kj*f
2.加强后端ccd的抓靶强度
oH/r+k5Kn,eP
!y0f h;r0w@f)pO 个人拙见,仅限参考:)

zhai 2008-6-24 11:29

兄弟,我做LCM的,把你的MARK拍个照片上来看看,看看是激光设备刻的MARK烂还是贵公司买的设备采用的画像系统烂,设备的画像处理系统是哪家的啊,不行的话还个滤光镜片吧,你现在用的侧灯是红光还是白光,还是LED灯啊。
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